?無塵車間工程施工完成后，驗收要求主要包括以下幾個方面：
一、環(huán)境參數驗收
溫度和濕度
溫度應在設計要求的范圍內，通常根據具體的生產工藝需求確定，例如電子制造行業(yè)可能要求溫度在 22℃±2℃。
濕度一般也有嚴格的控制范圍，比如在 45% RH - 65% RH 之間。驗收時需使用專業(yè)的溫濕度計在車間內不同位置進行多點測量，確保溫濕度均勻穩(wěn)定且符合標準。
例如，在制藥無塵車間中，適宜的溫濕度可以保證藥品生產過程的穩(wěn)定性和質量。
潔凈度
這是無塵車間最重要的驗收指標之一。根據不同的潔凈等級要求，采用塵埃粒子計數器對空氣中的懸浮粒子進行檢測。
例如，對于 ISO 5 級的無塵車間，每立方米空氣中粒徑≥0.5μm 的懸浮粒子數不得超過 3520 個，粒徑≥5μm 的懸浮粒子數為 0。
檢測應在車間正常運行狀態(tài)下，在不同區(qū)域、不同高度進行多點采樣，以確保整個車間的潔凈度符合設計要求。
壓差
無塵車間不同區(qū)域之間應保持一定的壓差，以防止空氣的交叉污染。一般來說，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差應不小于 10Pa，不同潔凈等級區(qū)域之間的壓差也有相應的要求。
驗收時使用壓差計測量各區(qū)域之間的壓差，確保壓差符合設計標準。例如，在半導體制造無塵車間中，高潔凈度區(qū)域與低潔凈度區(qū)域之間的壓差控制對于芯片生產的質量至關重要。
二、工程質量驗收
裝修材料和施工工藝
檢查無塵車間的裝修材料是否符合要求，如墻面、地面、吊頂等材料是否具有良好的密封性、耐腐蝕性和易清潔性。
施工工藝應精細，墻面與地面的交接處應密封良好，無裂縫、空鼓等現象；吊頂的安裝應牢固，平整度符合要求。
例如，墻面采用的彩鋼板應具有一定的強度和剛度，表面光滑，易于清潔消毒；地面的環(huán)氧自流平應平整、無起泡、無開裂。
通風系統(tǒng)
檢查通風系統(tǒng)的安裝質量，包括風管的密封性、風機的運行穩(wěn)定性、過濾器的安裝牢固性等。
驗收時應進行風量測試，確保通風系統(tǒng)能夠提供足夠的風量和風速，滿足車間的潔凈度要求。例如，高效過濾器的安裝應嚴密，無泄漏，其過濾效率應符合設計要求。
同時，通風系統(tǒng)的噪音應在規(guī)定范圍內，不影響車間內的工作環(huán)境。
電氣系統(tǒng)
檢查電氣系統(tǒng)的布線是否規(guī)范、安全，插座、開關等電氣設備的安裝是否牢固、可靠。
照明系統(tǒng)應滿足車間的照度要求，燈具的安裝位置應合理，無眩光。例如，在食品加工無塵車間中，照明度應不低于 500Lux，以確保生產過程的安全和質量。
電氣系統(tǒng)還應具備良好的接地和漏電保護措施，確保人員和設備的安全。
給排水系統(tǒng)
檢查給排水管道的安裝是否牢固、密封良好，無滲漏現象。
純水系統(tǒng)應能夠提供符合要求的水質，驗收時需對純水的電阻率、微生物含量等指標進行檢測。例如，在電子芯片制造無塵車間中，純水的電阻率應達到 18.2MΩ?cm 以上。
排水系統(tǒng)應暢通無阻，且具備防止廢水倒流的措施。
三、設備設施驗收
凈化設備
檢查空氣凈化設備，如高效過濾器、FFU（風機過濾單元）等的運行性能。確保設備能夠正常啟動、運行穩(wěn)定，過濾效果符合要求。
例如，高效過濾器的初始壓差應在合理范圍內，隨著使用時間的增加，壓差的變化應符合設備的性能曲線。
工藝設備
對于無塵車間內的生產工藝設備，如光刻機、封裝設備等，應檢查其安裝是否符合要求，運行是否穩(wěn)定，與無塵車間的環(huán)境是否兼容。
例如，一些高精度的生產設備對環(huán)境的振動、溫度、濕度等要求非常嚴格，驗收時需確保這些設備在無塵車間內能夠正常工作。
安全設施
檢查無塵車間的安全設施是否齊全，如消防設備、應急照明、安全出口等。
消防設備應符合相關標準，定期進行檢查和維護；應急照明應在停電時能夠自動啟動，保證人員安全疏散；安全出口應暢通無阻，標識明顯。